分子结构数据又称硅氟氢酸。无水物是无色气体。不稳定。易分解为四氟化硅和氟化氢。水溶液无色，呈强酸性反应。有腐蚀性，能侵蚀玻璃。保存于蜡制或塑料制等容器中。浓溶液冷却时析出无色二水物的晶体，熔点19℃。氟硅酸有消毒性能。用于制氟硅酸盐和冰晶石，并用于电镀、啤酒消毒、木材防腐等。由二氧化硅溶解于氢氟酸中或混和石英粉、氟化钙和浓硫酸后加热而制得。也可从磷肥厂中分解磷矿时逸出的四氟化硅气体用水吸收而得。
分子结构数据：
1、摩尔折射率：无可用的；
2、摩尔体积（m3/mol）：无可用的；
3、等张比容（90.2K）：无可用的；
4、表面张力（dyne/cm）：无可用的；
5、介电常数：无可用的；
6、极化率：无可用的；
7、单一同位素质量：143.982995 Da；
8、标称质量：144 Da；
9、平均质量：144.0918 Da。
分子结构数据也用于某些电镀的添加剂，氟硅酸或盐类用于镀铬添加，可与硫酸根有相似的作用，并可提高电流效率到20%左右，光亮度提高，光亮电流密度范围加宽；氟硅酸对镀铬层有活化作用，断电时间短，继续复镀，结合力几乎不受影响，所以在滚镀铬中氟硅酸为必要的添加成分；氟硅酸可降低镀铬的电流密度，提高镀层覆盖能力，但增加了镀液的腐蚀性。
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